电镀和油漆的区别 真空电镀的优缺点( 三 )


四、溅镀
原理主要利用辉光放电(glowdis-charge)将氩气(Ar)离子撞击靶(tar-get)表面,靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜 。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多 。新型的溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化,造成靶与氩气离子间的撞击机率增加,提高溅镀速率 。一般金属镀膜大都采用直流溅镀,而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀,基本的原理是在真空中利用辉光放电(glowdis-charge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(tar-get)表面 , 电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面 , 这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜 。
一般来说 , 利用溅镀制程进行薄膜披覆有几项特点:
(1)金属、合金或绝缘物均可做成薄膜材料 。
(2)再适当的设定条件下可将多元复杂的靶材 *** 出同一组成的薄膜 。
(3)利用放电气氛中加入氧或其它的活性气体 , 可以 *** 靶材物质与气体分子的混合物或化合物 。
(4)靶材输入电流及溅射时间可以控制 , 容易得到高精度的膜厚 。
(5)较其它制程利于生产大面积的均一薄膜 。
(6)溅射粒子几不受重力影响 , 靶材与基板位置可自由安排 。
(7)基板与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上 , 且由于溅射粒子带有高能量 , 在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜 , 同时此高能量使基板只要较低的温度即可得到结晶膜 。
(8)薄膜形成初期成核密度高 , 可生产10nm以下的极薄连续膜 。
(9)靶材的寿命长 , 可长时间自动化连续生产 。
(10)靶材可 *** 成各种形状 , 配合机台的特殊设计做更好的控制及最有效率的生产 。
蒸镀和溅镀的区别:
溅镀,是真空溅射镀膜的简称,是一种物理镀膜的 *** .
真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜 , 具体包括很多种类 , 包括真空离子蒸发 , 磁控溅射 , MBE分子束外延 , PLD激光溅射沉积等很多种 。主要思路是分成蒸发和溅射两种 。
需要镀膜的被称为基片 , 镀的材料被成为靶材 。基片与靶材同在真空腔中 。
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来 , 并且沉降在基片表面 , 通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜 。
对于溅射类镀膜 , 可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材 , 并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来 , 并且最终沉积在基片表面 , 经历成膜过程 , 最终形成薄膜 。
五、阳极处理
一种电解过程 , 提供镀层金属的金属片作用有如阳极 , 电解液通常为镀着金属的离子溶液 , 被镀物作用则有如阴极 。阳极与阴极间输入电压后 , 吸引电解液中的金属离子游至阴极 , 还原后即镀着其上 。同时阳极的金属再溶解 , 提供电解液更多的金属离子 。某些情况下使用不溶性阳极 , 电镀时需添加新的电解液补充镀着金属离子 。
一般铝合金很容易氧化 , 氧化层虽有一定钝化作用 , 但长期曝露之结果 , 氧化层仍会剥落 , 丧失保护作用 , 因此阳极处理的目的即利用其易氧化之特性 , 藉电化学 *** 控制氧化层之生成 , 以防止铝材进一步氧化 , 同时增加表面的机械性质 。